T/ICMTIA 2-2019 集成電路用過氧化氫

范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路用過氧化氫(H₂O₂)的要求、試驗(yàn)方法檢規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。
分子式: H₂O₂
相對(duì)分子質(zhì)量: 34.01(按2011年國際相對(duì)原子質(zhì)量)

術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件。
PE: 聚乙烯
PP: 聚丙烯
FEP: 氟化乙烯丙烯共聚物
PFA : 全氟烷氧基樹脂
HDPE: 高密度聚乙烯

要求
性狀
本品為無色透明液體，具有腐蝕性和氧化性，溶于水、醇、醚。31%的H₂O₂在25°C時(shí)密度為1.11g/cm³，長(zhǎng)時(shí)間放置會(huì)緩慢分解為氧和水，儲(chǔ)存時(shí)不能盛滿，不得超過滿容量95%，容器的蓋子應(yīng)帶有透氣孔。
技術(shù)規(guī)格及指標(biāo)




實(shí)驗(yàn)方法
含量的測(cè)定
氧化還原滴定法(仲裁法)
準(zhǔn)確稱取0.2g(0.18mL)樣品，精確至0.0001g，加25mL水，加10mL硫酸溶液(質(zhì)量分?jǐn)?shù)為20%)，用高錳酸鉀標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液[c(1/5 KMnO₄)=0.1mol/L]滴定至溶液呈粉紅色，保持30秒不退色。過氧化氫(H₂O₂)的質(zhì)量分?jǐn)?shù)(X)按式(1)計(jì)算:

式中:
X ——過氧化氫的質(zhì)量分?jǐn)?shù)，%；
V ——高錳酸鉀標(biāo)準(zhǔn)溶液的體積，mL；
c ——高錳酸鉀標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度，mol/L；
17.01——[1/2 H₂O₂]的摩爾質(zhì)量，g/mol；
m ——樣品的質(zhì)量，g。

密度法
儀器
密度儀: 度控制精度±0.01°C，測(cè)量精度0.0001g/cm³。
濃度與密對(duì)應(yīng)數(shù)據(jù)
將過氧化氫不同濃度-密度對(duì)應(yīng)數(shù)據(jù)導(dǎo)入密度儀，形成濃度與密度對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。
測(cè)試
按照儀器的操作規(guī)程，H₂O₂樣品直接進(jìn)樣檢測(cè)，測(cè)試結(jié)束用純水清洗。

酸度的測(cè)定
稱取20g樣品，精確至0.01g，加入90mL無CO₂的水，滴加5滴溴甲酚氯-甲基紅混合指示液，用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液[c(NaOH)=0.01mol/L]滴定至溶液呈綠色，并保持30秒不退色。過氧化氫(H₂O₂)的酸度(X)按式(2)計(jì)算:

式中:
X ——過氧化氫的酸度，%；
V ——?dú)溲趸c標(biāo)準(zhǔn)溶液的體積， mL ；
c ——?dú)溲趸c標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度，mol/L；
49.04——[1/2 H₂SO₄]的摩爾質(zhì)量， g/mol；
m ——樣品的質(zhì)量，g。


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